면저항은 단위 ohm/sq로 표시됩니다. 여기서 sq는 ㅁ로도 표시되며, 미터법(cm2 등)이 아닌 별도의 단위로서, 무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적입니다. 선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됩니다. 이때 쓰이는 Probe가 4 point probe이고, 일반적으로 탐침은 1mm간격으로 일렬구성된 probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여, 저항값을 구한 후, 면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다. 면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지(Solar cell), 연료전지, OLED 등의 벌크 및 박막의 전도성을 검사

1. 측정범위 : 1 mΩ/sq - 2 MΩ/sq

2. Software : System operating(Windows Version), Data analysis

3. Sample size : Max 200mm

4. JANDEL 4-Point Probe Head

5. 전원 : 220V, 60Hz

6. Auto / Manual & Single / Dual 선택가능

7. 온도보정을 위한 온도센서 내장

8. 장비 단독측정(Stand-alone) 및 PC를 이용한 Full remote control 측정 및 분석 기능.

9. X,Y,Z-Axis automatic system (Auto scanning)

10. Wafer 고정용 Vacuum port(4mm) 내장

11. Electronic accuracy: ±0.5% (Precision resistor)

12. Software : System operating(Windows Version), Data analysis