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CDM 시험기 Charged Device Model Tester

시설장비등록번호
NFEC-2024-07-298298
제작사명 모델명
Thermo Fisher Scientific Orion3
표준분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터 (재)부산테크노파크

장비문의 : 051-514-3905

  • 장비설명

    • 1) Orion3 장비 구성
      -. Main System:1) Orion3 장비 구성
      -. Main System: Test Head, Control Box, 구동축 (X,Y, Z축)
      -. 소프트웨어: Orion3 Scimitar(장비 운영), Evaluwave (파형 분석)
      -. 구동 컴퓨터 & 모니터

      2) 장비 성능
      Device 충전 방식 : Field Induced Charge (필드 충전)
      - 시험 전압 레벨 : ±25 V to ±2000 V (±1V steps)
      - Test Area 10.16 cm x 10.16 cm (4 in x 4 in)
      - Motion System
      x, y axis : min step size 0.001 in with 0.00025-in accuracy
      (min step size 25.4 μm with 6-μm accuracy)
      z axis : Vertical travel to 1.5 in with 0.00025-in accuracy
      (vertical travel to 38.1 mm with 6-μm accuracy)
      - High resolution Camera: Ethernet High resolution Camera (1.0 Gbps or higher)
      - 습도 제어(소프트웨어) 및 모니터링, 온도 모니터링 기능 내장.
      - DUT Chuck Vacuum (internal) 11.8” Hg 내장
      : +15°C to +30°C (+59°F to +86°F)
      - Humidity Range 30-60% non-condensing
      (recommended test chamber range is less than 20%)
      - Dimensions 56 cm (22 in) W x 89 cm (35 in) D x 104 cm (41 in) H

  • 구성 및 성능

    • Orion3 는 반도체 IC 에 대한 정전기 내성 평가를 위한 시험 장비로 정전기 시험 모델인 HBM, MM, CDM 중 CDM 에 대한 시험을 위한 장비로, 이 CDM(Charged Device Model) 시험기는 관련 국제 규격에 의거 반도체 IC 에 정전기 시험을 진행하여 반도체 소자의 CDM 현상에 대한 제품의 내성을 평가, 검증하기 위한 시험 장비이다.
      - 관련 국제 규격: JS-002, AEC-Q100 외
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