부산테크노파크
장비현황
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고분해능 전계방출형 주사전자현미경(본체) High-Resolution Field-Emission Scanning Electron Microscope
- 제작사명 모델명
- Hitachi High-Tech SU5000
- 표준분류
- 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
설치장소 : (재)부산테크파크 첨단융복합소재센터 화재시험동
장비문의 : 051-831-7859
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장비설명
- • 전자빔을 시료 표면에 주사하여 발생되는 2차 전자와 후방산란 전자를 수집하여 시편의 형상, 표면의 모폴로지 및 조성을 나노 수준으로 분석하는 연구장비
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구성 및 성능
- • Resolution - 1.2 nm @ 30 kV - 3.0 nm @ 1 kV • Magnification : ×30 ~ ×1,500,000 (1,280 × 960 pixels on display) • Probe current : max. 200 nA • Accelerating voltage : (0.5 ~ 30) kV • Specimen stage : 5-axis motorized stage • Specimen size : max. 200 mm(Ø), 80 mm(H)