부산테크노파크
장비현황
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이온빔밀링기 Ion Beam Milling System
- 제작사명 모델명
- Hitachi High-Tech IM4000 plus
- 표준분류
- 기계가공/시험장비 > 성형/가공 장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
설치장소 : (재)부산테크파크 첨단융복합소재센터 화재시험동
장비문의 : 051-831-7859
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장비설명
- • 다양한 시료(금속, 세라믹, 유기재료, 복합재료 등)의 단면 및 표면 전처리 및 정밀 가공장비
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구성 및 성능
- • Accelerating voltage : (0 ~ 6) kV • Ion beam diameter : about 500 ㎛ • Milling rate - Cross-section milling : over than 500 ㎛/hr on Si - Flat milling : 22 ㎛/hr (Illumination angle : 60˚) - Spot 2 ㎛/hr (Illumination angle : 0˚) - Flat • Max. sample size - Cross-section milling : 20 mm × 12 mm × 7 mm - Flat milling : Ø50 mm × 25 mm • Sample moving range - Cross-section milling : X ±7 mm, Y (0 ~ 3) mm - Flat milling : X (0 ~ 5) mm