부산테크노파크
장비현황
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폴리머 건식 식각기 Polymer dry etcher
- 시설장비등록번호
- NFEC-2007-10-018562
- 제작사명 모델명
- Plasma Finish V15-G
- 표준분류
- 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : 부산대학교 MEMS/NANO부품생산센터 (재)부산테크노파크
장비문의 : 051-510-3948
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장비설명
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구성 및 성능
- polymer 등을 건식식각하는 장치로 공정 후 wafer 표면에 남은 감광막 및 폴리머를 제거. 특히 lithography polymer 증착 후 후공정 처리장비로 잔류 폴리머에 의한 오염을 방지하고 수율 개선을 위한 공정 장비로 활용가능 \n선택적인 polymer 층의 제거도 가능 \n패턴화된 polymer 층의 etching 및 보전에 활용 가능