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장비현황

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핫 엠보싱 시스템 Hot embossing system

시설장비등록번호
NFEC-2007-10-003952
제작사명 모델명
Jenoptik HEX03
표준분류
기계가공/시험장비 > 성형/가공 장비 > 프레스장비

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 부산대학교 MEMS/NANO부품생산센터 (재)부산테크노파크

장비문의 : 051-514-3906

  • 장비설명

    • * Max. die size :* Max. die size : ≥ 180mm in dia * Max. hot embossable ide size : ≥150mm in dia * Max. pressure force : 200kN * Chamber pressure : ≤ 1mbar * Temperature range : RT-500℃ * Temperature stability : ±1℃ * Contact force : 10kN ~ 40kN * Instrumental alignment accuracy : ±3um
  • 구성 및 성능